小型等离子清洗机

简单介绍

图片

备注说明

DJY—2A小型型等离子清洗机技术参数：

舱体尺寸： 270mX100（直径）mm

射频频率： 40KHz

射频功率: 150W

电 源： ~220V

电 流： 1.2A

外形尺寸: 450mmX450mmX200mm

整机重量： 15Kg

真空泵配置：2XZ—1型真空泵

DJY—3B型小型型等离子清洗机技术参数

舱体尺寸： 150mX150（直径）mm
射频频率： 40KHz
射频功率： 150W
电 源： ~220V
电 流： 1.5A
外形尺寸： 450mmX450mmX200mm（不包括外置舱体）
整机重量： 13.5Kg
真空泵配置：2XZ—1型真空泵
舱体材质： 石英玻璃

气路设置：双气路

DJY—4A型小型型等离子清洗机技术参数

1.舱体尺寸： 270mX150（直径）mm
2.射频频率： 40KHz
3.射频功率： 200W
4.电 源： ~220V
5.电 流： 1.8A
6.外形尺寸： 500mmX500mmX240mm
7.整机重量： 17Kg
8.真空泵配置：2XZ—2型真空泵

DJY—2A型等离子清洗机工作图

DJY—2A型机是科研机构、院校实验室及小型物品处理工艺的*，其具有的手动与自动控制功能非常方便操作使用；中科院生物物理所、中科院过程控制所、中科院理化技术所、清华、北大、北理工、杭州诺尔康神经电子公司、廊坊安科光电公司、东莞博阳光电公司等用户使用该机

主要应用于科研单位

DJY—2A型等离子清洗机发光舱体

我们给出的2A机舱体发光图，意在使客户初次使用等离子清洗机时，能够了解舱体的发光色度对我们在实施过程中的影响因素和调节取向。常规的清洗和处理，我们无需外加特殊气体，即能满足处理和清洗的需要。同时该图也是机器调试的参考标准：当外加气体（Gas1）为普通大气时，气体的流量决定其发光色度，色度过重表示气体流量过大，产生的离子数目过高，虽然对处理过程显得效果明显，但会使射频电流急剧增加，造成温度过高；而色度偏白时，意味着外加气体过少，等离子产生的数目极低，也不适宜正常的处理清洗需要。故舱体的发光色度是一个多维参数，其主体是气体流量。

主要应用于科研单位

DJY—4A型等离子清洗机工作图

DJY—4A型等离子清洗机是常规的小批量生产用机型，如浙江大学、广州大学、厦门三安光电公司、常州泰和光电公司、安徽格瑞特光电公司、深圳飞康光电公司等多家使用，特别适用于LED/LCD产业和太阳能硅片领域

主要应用于小型生产单位

DJY—4A型等离子清洗机发光舱体

参照2A机发光舱体的说明，由于舱体的容积有所区别，故气体流量也不尽相同，但基本原理是一样的。由于处理清洗的需要而外加特殊气体时，其发光色度会有很大的变化，我们会在中给予指导。

主要应用于小型生产单位

内部结构

除舱体尺寸、功率器件有所不同外，DJY—2A型机与DJY—4A型机的内部结构基本是相同的，特点是布局合理、散热好。

公开的内部结构

B型机电器管路图

图示的B型机电器管路（2A型、4A型，）基本相同，而3B型由于属于外置舱体，连接略有区别。

公开的电气部分

DJY-3B型机配套总体

DJY-3B型等离子清洗机特点是直观且实用容积大，其zui大处理处理物品的体积可达100X100X100mm,其物理结构是刻蚀机的基础机型。

主要应用于科研单位

每台机器出厂要进行的检测项目

A;真空度检测
B:手动方式检测
C:自动方式检测
D:工作温度检测
E:zui大工作电流检测
F:射频频率检测
G:亲水试验

通过专业的仪器进行出厂前严格的检测,保证每台仪器的质量

南开大学物理学院光学室

光学玻璃镀膜前处理

实验室真实效果图