一、核心原理:光散射的粒子
粒子计数器基于光散射原理工作:当含尘气体通过激光束时,颗粒物会散射光线,散射光强度与颗粒表面积成正比。光电倍增管将光信号转化为电脉冲,脉冲数量对应颗粒数,脉冲幅度反映颗粒大小。例如,0.3μm颗粒的散射光强度约为0.1μm颗粒的9倍,通过预设阈值可区分不同粒径通道。
二、关键参数:精准测量的“密码”
粒径范围:常见通道为0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0μm、5.0μm、10.0μm,覆盖洁净室主要污染源。
采样流量:标准流量为2.83L/min(0.1cfm),大流量(28.3L/min)可提升检测效率,但需权衡最大浓度限制。
计数效率:设备对特定粒径颗粒的检测能力,通常以95%置信度(UCL)计算,确保数据可靠性。
自净时间:采样前需10分钟自清洁,消除气路残留颗粒,避免交叉污染。
三、操作流程:从启动到数据解读
环境准备:关闭门窗,远离气流干扰源(如风扇、空调),确保温湿度(15°C-35°C,湿度10%-85%)符合要求。
设备自检:开机后完成自检,连接自净器进行10分钟气路清洗,直至六通道计数值稳定为0。
参数设置:根据需求选择粒径通道、采样时间(通常60秒)、延迟时间(气流稳定时间),并设置测量区域编号。
采样执行:将采样头置于待测区域,启动采样。设备实时显示各粒径通道颗粒数,支持单次、连续或多次采样模式。
数据输出:采样完成后,仪器自动计算UCL值(统一洁净度等级),支持数据导出或打印,便于分析报告生成。
四、维护与校准:长期稳定的“保障”
日常维护:每次使用后清洁传感器,避免液体或颗粒物侵入;长期存放时使用防尘胶帽保护采样口。
定期校准:每年送至计量机构校准,使用标准粒子发生器(如PSL气溶胶)验证零点、流量和粒径响应,确保转换灵敏度准确。
故障排查:若自清洁超时,检查空气过滤器是否失效或气路漏气;若数据异常,重新校准或联系厂商维修。
应用场景:粒子计数器广泛应用于制药车间(ISO5级洁净室)、半导体工厂(Class10级环境)、医院手术室(动态监测)等领域,是保障生产安全与产品质量的“眼睛”。通过掌握原理、优化参数、规范操作,可确保数据准确可靠,为洁净环境控制提供科学依据。